Епіта́ксія — орієнтований ріст одного кристала на поверхні іншого; закономірне зростання різних мінералів, у яких деякі кристалографічні елементи паралельні; метод осадження монокристалічної плівки на монокристалічну підкладку, при якому кристалографічна орієнтація шару, який осаджують, повторює кристалографічну орієнтацію підкладки.
Приклад вживання
Щоб візуалізувати вплив відбитої хвилі на розподіл розсіяної дифузної інтенсивності, була вирощена модельна система острівців методом рідиннофазної епітаксії.
—