походить з idem «ТОЙ ЖЕ САМИЙ», далі з id + dem. Англ. identity - з 1560-х, запозич. через ср.-франц. identité;
Ґуґл: "тожсамість" результатів приблизно 7 350
Хоча слово "тотожність" - теж запозичення з чеської у 19 сторіччі.
З давньоруського »однаковість, схожість« (Матеріали до словника давньоруської мови, І. Срізнівський). Творено від кореня *, що й в українському , й інших похідних, чисельних в давньоруській мові.
На підставі засвідченого там же в Срізнівського слова (прикметник) може бути й в українській мові, відповідно, прикметник зі значенням »ідентичний«: (чол.), (жін.), (сер.), (множ.), прислівник »ідентично«: , а також дієслово »ідентифікувати, ідентифікую, ідентифікує ...«: .
П. О. Селігей. Що нам робити із запозиченнями? // Журнал «Українська мова». — 2007. — № 3. — С. 12
https://archive.org/stream/zapozychen#page/n9/mode/1up